Focusing and proper geometry of electron beams is one of the main tasks for developers of devices and installations with their use. The most common electron beam focusing systems are built using magnetic lenses. In this work, the developed multi-channel digital control system for the current in magnetic lenses is presented that allows for precise and stable control over the electron beam focusing process and maintaining its proper geometry. The scanning electron microscope 09-IOE-200 (MREM-200) was used as the test object, where the digital control system for electron beam focusing was installed. The obtained high-quality photographs contain no artifacts that arise in cases of unstable electron beam focusing or distortion of its proper geometry. The original circuit design using an accessible component base and software opens up wide opportunities for further modernization of the developed multi-channel system or its adaptation to new tasks.
Одной из основных задач, стоящих перед разработчиками приборов и установок с применением электронных пучков, является их фокусировка и правильная геометрия. Наиболее распространенные системы фокусировки электронных пучков строятся с использованием магнитных линз. В работе представлена многоканальная система цифрового управления силой тока в магнитных линзах, позволяющая с высокой точностью и стабильностью управлять процессом фокусировки электронного пучка и поддерживать его правильную геометрию. В качестве объекта испытаний использован растровый электронный микроскоп 09-ИОЭ-200 (МРЭМ-200), в котором установлена цифровая система управления фокусировкой электронного пучка. Полученные фотографии характеризуются высоким качеством и не содержат артефактов, которые возникают в случае нестабильной фокусировки электронного луча либо при искажении его правильной геометрии. Оригинальная схемотехника с доступной элементной базой и программное обеспечение дают возможность модернизировать или адаптировать разработанную многоканальную систему под новые задачи.